Yan duvarları taştan yapılan ana mekânın üzeri dört ahşap sütunun taşıdığı ahşap çatı ile örtülmüştür. Güney duvarının ortasında basit bir şekilde yapılan mihrabı yer almıştır. Son cemaat mahalli, altı tane sütunu birbirine bağlayan kemerlerin üzeri yine ahşap çatı ile örtülmüştür. Son cemaat yerinin batısında sonradan yapılan minare ile doğuda birbirine açılan iki adet tonozlu mezar yer almaktadır. Giriş kapısı üzerinde kitabesi bulunmaktadır. Giriş kapısı üzerinde yer alan altı beyitlik manzum kitabede H. 1207 (M. 1792) tarihi bulunmaktadır. Cami Diyarbekir Valisi ve Maden-i Humayun Emini olan Yusuf Ziya Paşa’nın oğlu Şa’di Paşa tarafından annesi Ayşe Hanım için yaptırılmıştır. Son cemaat mahallinin doğusunda birbirine açılan iki adet tonozlu mekânda üç mezar bulunmaktadır. Birinci mezar H. 1256 (M. 1840) doğumlu Maraşlı Süleyman Paşa’nındır. İkinci mezar R. 1302 (M. 1887) tarihinde ölen Şakir Paşa’nın kızı Hamidiye hanıma aittir. Üçüncü mezarın ait olduğu şahıs belli değildir. Mezar şahidesinde R. 1316 (M. 1901) tarihi yazılıdır.